Perfluorobutadiene、ガスエッチングプロセス、中国の半導体エッチングガスメーカーとサプライヤー

Li-（CFX）N電気化学バッテリー
3Vリチウムマンガンバッテリー
3Vリチウムサブバッテリー
ポリマーリチウムLONバッテリーパック
エネルギー貯蔵バッテリー
- 屋外ムーブメントエネルギー貯蔵バッテリー
1.5Vアルカリバッテリー
安定した同位体
- B-11安定同位体
フッ素含有医薬品中間体材料
- Perfluorooctane生物医学材料
半導体プロセス材料
特殊機能カーボンフッ化物材料
新しいエネルギーバッテリー材料

は中国 Perfluorobutadiene半導体プロセス材料サプライヤー

Perfluorobutadieneは、独自のF/C比のため、6つのフッ素原子と2つの炭素炭素二重結合を優れたエッチングガスとして含む一種の共役オレフィンです。Perfluorobutadieneは、エッチングの選択性、精度、アスペクト比が高い従来のペルフルオー化された飽和蛍光炭素エッチングガス、パーフルオロブタジエンは、より狭い電子回路をさらに狭い100 nm未満でエッチングできます。さらに、C4F6は、C4F8のフォトレジストと窒化シリコンの選択比が高く、エッチングの安定性、エッチング速度、均一性を改善し、製品の品質を改善できます。