低品質の高品質ヘキサフルオロエタン

$9999

≥100
Ton

インコタームズ:

FOB,CIF,DDP

最小注文数:

100 Ton

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製品の説明

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Overview

製品の属性

モデル: Hexafluoroethane

供給能力と追加情報

インコタームズ: FOB,CIF,DDP

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販売単位:: Ton

ペルフルオロエタンとしても知られるヘキサフルオロエタン（C2F6）は、一種の無色の、無臭、非炎症性不活性ガスです。その融点は100.6℃で、沸点は78.2℃で、水にわずかに溶けます。非毒性、無臭、高い安定性により、ヘキサフルオロエタンは半導体製造プロセスで広く使用されています。ヘキサフルオロエタンは、乾燥エッチャントとして、非常に小さなエッジサイドエッチング、高いエッチング速度、高精度の利点があり、小さなライン幅の半導体製造プロセスの要件を満たすことができます。

ヘキサフルオロエタン品質仕様：

Items	单位 Unit	Indexs
C2F6	Vol.%	≥99.999
O2+Ar	Vol.ppm	＜1
N2	Vol.ppm	＜5
CO	Vol.ppm	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5
H2	Vol.ppm	＜0.5
Halohydrocarbon	Vol.ppm	＜5
CH4	Vol.ppm	＜1
H2O	Vol.ppm	＜2
Acidity（Measured by HF）	Wt. ppm	＜0.1
Total impurity content	Mol.ppm	≤10