電子回路のエッチング材料Perfluorobutadiene

$9999

≥100
Ton

インコタームズ:

FOB,CIF,DDP

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100 Ton

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製品の説明

製品の属性
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梱包と配送

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Overview

製品の属性

モデル: Perfluorobutadiene

供給能力と追加情報

原産地: 中国

インコタームズ: FOB,CIF,DDP

梱包と配送

販売単位:: Ton

製品導入

Perfluorobutadiene（C4F6）は、一種の無色、無臭、水不溶性ガスです。その融点は132.0℃、沸点は5.9°です。 Perfluorobutadieneは、独自のF/C比のため、6つのフッ素原子と2つの炭素炭素二重結合を優れたエッチングガスとして含む一種の共役オレフィンです。Perfluorobutadieneは、エッチングの選択性、精度、アスペクト比が高い従来のペルフルオー化された飽和蛍光炭素エッチングガス、パーフルオロブタジエンは、より狭い電子回路をさらに狭い100 nm未満でエッチングできます。さらに、C4F6は、C4F8のフォトレジストと窒化シリコンの選択比が高く、エッチングの安定性、エッチング速度、均一性を改善し、製品の品質を改善できます。

品質仕様

Items	Unit	Index
C4F6	Vol.%	≥99.99
N2	Vol.ppm	≤10
O2+Ar	Vol.ppm	≤2
H2O	Vol.ppm	≤3
CO2	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
（Measured by HF）	Wt.ppm	≤2