エッチングガスに最適な半導体材料

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Ton

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製品の説明

製品の属性
供給能力と追加情報
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Overview

製品の属性

モデル: Hexafluoroethane

Manufacturing Technology: Optoelectronic Semiconductor

Material: Element Semiconductor

Type: N-type Semiconductor

Package: SMD

Application: Refrigerator

Model: ST

供給能力と追加情報

原産地: CN

インコタームズ: FOB,CIF,DDP

梱包と配送

販売単位:: Ton

半导体材料 ヘキサフルオロエタン（C 2 F 6 ）は、パーフルオロエタンとしても知られており、一種の無色の、無臭、非炎症性のある不活性ガスです。その融点は100.6℃で、沸点は78.2℃で、水にわずかに溶けます。非毒性、無臭、高い安定性により、ヘキサフルオロエタンは半導体製造プロセスで広く使用されています。ヘキサフルオロエタンは、乾燥エッチャントとして、非常に小さなエッジサイドエッチング、高いエッチング速度、高精度の利点があり、小さなライン幅の半導体製造プロセスの要件を満たすことができます。

品質仕様

Items	Unit	Indexs
C2F6	Vol.%	≥99.999
O2+Ar	Vol.ppm	＜1
N2	Vol.ppm	＜5
CO	Vol.ppm	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5
H2	Vol.ppm	＜0.5
Halohydrocarbon	Vol.ppm	＜5
CH4	Vol.ppm	＜1
H2O	Vol.ppm	＜2
Acidity（Measured by HF）	Wt.ppm	＜0.1
Total impurity content	Mol.ppm	≤10

応用

電子グレードのヘキサフルオロエタンは、主に半導体材料および半導体デバイスの製造プロセスでエッチング剤および洗浄剤、および断熱ガスと高誘電体強度クーラントとして使用されています。

パッケージと保管

ヘキサフルオロエタンは、特別な治療を伴う清潔で乾燥したシームレスなシリンダーで満たされています。シリンダーボリュームは4L、8L、10L、12.5L、40Lなどです。パッケージの仕様は、顧客の要件に応じてカスタマイズできます。

Shandong Zhongshan Photeelectric Rathirals Co.、Ltd。は、R＆D、パイロットテスト、およびインダストリアル化を統合するShandong Zhongshan Group Co.、Ltd。によって投資および設立されたハイテク企業です。 Zhongshan Photeelectric Materials Co.、Ltd。には、主に教授、研究者、ポスドク、医師、修士号、学部生を含む200人の研究開発チームがあります。同社は、数年の開発の後、多くの革新的な技術的成果を上げてきました。 50を超える特許が適用されており、最近の3年間で発明のための30の特許が許可されています。

同社は、多数の完全なサポート施設や、高純粋なフッ素ガス、特別な機能性フッ素化炭素材料、半導体材料（高純粋な電子ガス/電子化学物質）などのテストおよびパイロットデバイスの高度な機能を含む5,000m2のR＆Dパイロットプラットフォームを構築します。、高エネルギーバッテリー、リチウムバッテリー電解質、添加物、熱バッテリーと関連材料、光電子材料、安定した同位体とその誘導体材料、フッ素化生物医学材料など。新しい材料と機器の関連領域。同社は、すべてのプロジェクトの研究開発と生産のための高度な分析およびテストセンターを設立しました。

同時に、同社は世界中のフルオグラフおよび機能的なフルオロカーボン材料のパフォーマンス評価研究所の最初の大規模生産ラインを構築し、自宅で高品質のフローグラフェンを大量生産して供給できる唯一のメーカーになりました。今まで海外。