Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
モデル: Octafluoropropane
原産地: 中国
インコタームズ: FOB,CIF,DDP
製品導入
Octafluoropropane（C3F8）は、一種の無色の、無臭、非炎症性不活性ガスです。その融点は183.0℃で、沸点は36.7℃で、水に溶けません。電子グレードのオクタフルオロプロパンは、半導体材料と半導体デバイスの製造に使用されます。オクタフルオロプロパンと酸素の混合物は、シリコンウェーハの金属マトリックスと選択的に相互作用できるプラズマエッチング材料として使用されます。
品質仕様
| 项目 Items | 单位 Unit | 指标 Indexs | |
| C3F8 | Vol.% | ≥99.999 | ≥99.9995 |
| O2+Ar | Vol.ppm | ＜1 | ＜0.5 |
| N2 | Vol.ppm | ＜5 | ＜1 |
| CO | Vol.ppm | ＜0.5 | ＜0.5 |
| CO2 | Vol.ppm | ＜0.5 | ＜0.5 |
| CF4 | Vol.ppm | ＜0.5 | ＜0.5 |
| C2F6 | Vol.ppm | ＜0.5 | ＜0.5 |
| CH4 | Vol.ppm | ＜1 | ＜1 |
| H2O | Vol.ppm | ＜1 | ＜1 |
| 酸度Acidity (Mesured by HF) | Wt. ppm | ＜0.1 | ＜0.1 |
|
总杂质含量 Total impurity content |
Mol.ppm | ≤10 | ≤5 |
半導体産業では、オクタフルオロプロパンはプラズマエッチング材料として使用されます。医学では、硝子体網膜手術後にオクタフルオロプロパンをフィラーおよび造影剤として使用できます。オクタフルオロプロパンは、冷蔵混合物の成分としても使用されます。
パッケージと保管
Octafluoropropaneは、特別な治療で清潔で乾燥したシームレスなシリンダーで満たされています。シリンダーボリュームは4L、8L、10L、12.5L、40Lなどです。パッケージの仕様は、顧客の要件に応じてカスタマイズできます。
製品グループ : 半導体プロセス材料 > オクタフルオロプロパン半導体プロセス材料
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